高温炉内不同气氛对硅碳棒的影响
发布日期:2024-05-06 10:16 浏览次数:
硅碳棒电热元件的使用寿命除了受电热元件的内在质量的差异影响外,还受电热元件的使用温度、发热部表面负荷密度、表面涂层、供电方式(间断和连续使用)、控制方式(有无调压、调功装置)、接线方式(串联、并联等)及炉内气氛等因素的影响。
炉内气氛对硅碳棒的影响:
1、水蒸气的影响:水蒸气(H₂O)在1100℃时与SiC发生强烈化学反应,生成Si、SiO₂和C。使硅碳棒表面出现裂纹,电阻增长速度加快。
2、二氧化硫(SO₂)的影响:SO₂在1300℃与SiC反应,故使用温度应控制在1300℃以下。
3、高温电炉氮气(N₂)的影响:当硅碳棒表面温度达到1400℃时,N₂就与SiC发生反应,生成氮化硅,使硅碳棒的电阻值显著增长。
4、干燥空气的影响:硅碳棒能在高温(1600℃)、干燥的空气中长期使用,电阻缓慢增加。氧气(O₂)与SiC在高温时发生反应,生成二氧化硅(SiO₂)。由于硅碳棒表面形成了一层SiO₂保护膜,因此硅碳棒具有很强的抗氧化性。

5、氢气(H₂)的影响:在1250℃时,H₂与SiC发生反应,生成甲烷(CH4),破坏SiC发热体SiO₂保护膜。
6、氯气(Cl₂)的影响:Cl₂在600℃时就会与SiC发生反应,在1200℃时,Cl₂会把硅碳棒完全分解。
7、氨气(NH₃)的影响:NH3在高温时可分解成成N₂和H₂。故使用温度应控制在1250℃以下。
8.Na侵蚀碳化硅